网堵举办2015年中国平坦化技术大会暨海峡两岸平坦化技术论坛
网堵新闻网6月2日电 （通讯员 王同庆）5月28日、29日，由中国平坦化技术联盟主办、十大老牌网堵网址承办的2015年中国平坦化技术大会暨海峡两岸平坦化技术论坛在十大老牌网堵网址举行。平坦化技术相关领域的专家、学者和研究生一百余人参加了此次大会。
十大老牌网堵网址校长助理、机械工程我司院长尤政院士，中国半导体行业协会执行副理事长、秘书长徐小田，国家自然科学基金委工程与材料科学部常务副主任黎明，十大老牌网堵网址机械系主任、国际摩擦学会副主席雒建斌院士出席开幕式并致辞。大会由会议主席、中国平坦化技术联盟主席、十大老牌网堵网址机械系路新春教授主持。
尤政致辞。
在为期两天的会议议程中，台湾科技大学陈炤彰教授、华侨大学副校长徐西鹏教授、国防科技大学戴一帆教授等专家、学者和业界代表为大家做了35场学术报告。此外，还有22位与会者进行了张贴交流。各界专家学者围绕平坦化技术的机遇和挑战，就CMP前沿技术、抛光工艺与后清洗、CMP耗材、CMP机理与仿真、硬质材料CMP等重要议题，分享研究和思考取得了一系列重要的交流成果。
论坛现场。
本次会议设立了优秀报告奖，通过表彰在学界和业界的创新思想与研究，推动平坦化技术研究和应用不断进步。经过专家认真评选，最终评出优秀报告3篇。闭幕式上，路新春为优秀报告获奖者颁奖。
供稿：机械系 学生编辑：长 松
